聚合物表面的真空沉积改性
Posted On 1月 23, 2021
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牛津大学发明提供了一种表面改性方法,该方法可用于真空下的卷对卷工艺。该方法可以在一系列应用中改进薄膜性能。对于有机薄膜晶体管,测试表明,在100%产率下,其空穴迁移率能增加3-5倍。
薄膜的广泛应用:
聚合物薄膜有广泛的用途,从包装到电子、汽车到建筑材料。薄膜制造商使用多层薄膜和表面处理来控制表面能、润湿性、附着力和一系列其他参数。在制造有机薄膜晶体管的情况下,一个特殊的问题是修改电介质(绝缘体)层,以确保当半导体层设置在顶部时,它表现良好。这种“基于溶液”的方法是众所周知的,但是难以大规模和高产量地使用,然而这些要求对于薄膜、柔性、电子器件的吸引力是至关重要的!牛津发明通过提供一种表面改性方法克服了这个问题,该方法可用于所需的生产环境中,即在真空下的卷对卷工艺中。新流程为胶片处理器带来了许多好处:
- 在高产量生产过程中改变表面能的能力得到证明(图片显示加工如何将接触角从60°增加到90°)。这在许多领域具有广泛的应用。
- 晶体管性能提高。测试表明,空穴迁移率增加了3-5倍,例如,未处理样品的空穴迁移率从0.08cm2/Vs增加到0.44cm2/Vs,阈值摆幅较低(1.0V/10 Vs 1.6V/10),同时保持了这些晶体管的100%产量。
- 批次内的性能可变性降低,导致更好的处理能力,例如与替代处理技术(如旋涂)相比。
- 牛津发明从一开始就以高产率、高速、生产工艺为目标,尽管受到生产有机薄膜晶体管的挑战的激励,但本发明具有广泛的应用
(文章转载翻译自牛津大学创新中心
原网站地址.)
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